真空镀膜机各泵工作顺序，原因，原理

2022-07-25

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。