磁控溅射使用在哪些领域里

2023-02-14

广义上讲半导体领域的高阶工艺都有机会用到如集成电路芯片制造 MEMS 高端二极体芯片制造等等领域早期的工艺则用热蒸发或者电子束蒸发成膜随着半导体工艺线宽的不断变小以及对成膜均一性，台阶覆盖的要求的不断提高磁控溅射逐渐取代了蒸发成膜工艺