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磁控溅射使用在哪些领域里
2023-02-14
广义上讲 半导体领域的高阶工艺都有机会用到 如 集成电路芯片制造 MEMS 高端二极体芯片制造等等领域 早期的工艺则用热蒸发或者电子束蒸发成膜 随着半导体工艺线宽的不断变小以及对成膜均一性，台阶覆盖的要求的不断提高 磁控溅射逐渐取代了蒸发成膜工艺
下一条：什么是真空炉其作用和构造有哪些
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