光学真空镀膜机的结构及原理

2021-11-08

日常使用的手机屏幕，手机壳，手机盖板，摄像头，眼镜片，滤光片，DLED及一些高科技产品等等，都离不开光学镀膜技术，更离不开光学真空镀膜机。光学镀膜工艺已经成为人们生活不和分割的一部分，光学镀膜技术造就了高科产业发展，在生活中占据很重要的部分。

光学镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成，其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体，镀膜过程就是在真空罐中完成的，通过连接阀将真空罐和排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量，在工作时，必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成，负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。蒸镀系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置有很多种，如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
光学真空镀膜机通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜，以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。同时，为了尽可能地减少元件表面的反射损失、提高成像质量，往往涂镀多层薄膜。光学元件镀膜后，光在多层膜层的表面进行多次反射和透射，形成多光束干涉，通过控制膜层的厚度和折射率，可以得到不同的强度分布。利用这一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等，以满足更加复杂的需求。

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光学真空镀膜机的结构及原理

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